SEMを理想的な条件で使ったときに得られる解像力。一般的には空間分解能と同義語で、識別できる2点間の最小距離で定義するが、SEMでは、慣用的に二つの物体の隙間を測定して分解能としている。関連する用語解...

SEMを理想的な条件で使ったときに得られる解像力。一般的には空間分解能と同義語で、識別できる2点間の最小距離で定義するが、SEMでは、慣用的に二つの物体の隙間を測定して分解能としている。関連する用語解...

位置的に接近した2点を独立した2点として見分ける能力。SEMの分解能といった場合、空間分解能を意味する。関連する用語分解能解像力...

位置的に接近した2点を独立した2点として見分ける能力。SEMの分解能といった場合、空間分解能を意味する。関連する用語分解能解像力...

単なるSEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えたFESEM。分析機能を重視することから、ショットキー電子銃を搭載したFESEMをベースにするのが普通である。汎用形の分析S...

単なるSEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えたFESEM。分析機能を重視することから、ショットキー電子銃を搭載したFESEMをベースにするのが普通である。汎用形の分析S...

単なるSEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えたSEM。汎用形SEMをベースにした場合は、分析FESEMに比べて、解像力は低く、分析時の空間分解能も低いが、システムは低価...

単なるSEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えたSEM。汎用形SEMをベースにした場合は、分析FESEMに比べて、解像力は低く、分析時の空間分解能も低いが、システムは低価...

元素分析の空間分解能を上げるための一方法。薄膜試料を使うことで試料中での電子の拡散を小さくすることができるので、空間分解能を膜厚あるいはそれ以上にすることが可能である。下図は、鉄のバルク試料（左）と1...

元素分析の空間分解能を上げるための一方法。薄膜試料を使うことで試料中での電子の拡散を小さくすることができるので、空間分解能を膜厚あるいはそれ以上にすることが可能である。下図は、鉄のバルク試料（左）と1...