turbo molecular pump

走査電子顕微鏡基本用語集

ターボ分子ポンプ（ターボモレキュラーポンプ）　TMP: turbo molecular pump

円筒の周囲に多数の金属翼を斜めに取り付け、その円筒を高速回転させることで気体を圧縮し、排気するポンプ。動作圧力は10^-7〜1Pa程度であるが、油分子に対する圧縮率が高いので、オイルフリーな環境が作りやすい。油拡散ポンプと違って、冷却水が要らない、予備加熱の時間が要らない、などの利点がある。

関連する用語

• 油拡散ポンプ

透過電子顕微鏡基本用語集

ターボ分子ポンプ

【英】：turbo-molecular pump

油を使用しないドライ真空系ポンプ。高速で回転するロータにより気体分子に排気方向の運動量を与え、気体分子を排気する機械ポンプ。低真空から動作する。バック側には油回転ポンプなどの排気ポンプが必要。最近は音や振動の問題も解決されている。排気する気体の種類を選ばない。油拡散ポンプと違って、H₂Oの排気に強いので生物分野の電子顕微鏡に使われることがある。イオンポンプより高価であることと故障の危険性がある。使用圧力範囲は10^-1〜10^-8Pa。

説明に「ターボ分子ポンプ」が含まれている用語

• スクロールポンプ
• ドライポンプシステム
• 油回転ポンプ

ウィキペディア

ターボ分子ポンプ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/08/18 02:27 UTC 版)

ターボ分子ポンプ（ターボぶんしポンプ、英語：turbomolecular pump、略称：TMP）は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。