magnetic lens

走査電子顕微鏡基本用語集

磁界レンズ　magnetic lens

回転対称な磁界の電子線に対する集束作用を利用したレンズ。コイルに直流の電流を流して作られた磁力線を、透磁率の高い材料で出来た枠（磁路、ヨーク）に閉じこめ、枠の一部に切り欠きを作ることで、磁力線を空間に漏洩させ、回転対称な磁界を作る。切り欠き部分はポールピースと呼ばれる。SEMで使われているレンズのほとんどがこのタイプである。磁界中で電子はらせん運動をするので、レンズの励磁を変えると像は回転するが、この現象は対物レンズで焦点合わせをするようなときに観察されることがある。

関連する用語

• 電子線
• 対物レンズ
• 焦点合わせ
• 静電レンズ，ポールピース

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電子レンズ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2014/09/29 03:04 UTC 版)

電子レンズ（でんしレンズ）とは、電磁界の作用を利用して電子線やイオンビームを収束させるレンズである。電子顕微鏡などで用いられる。