加工変質層

研磨用語集

加工変質層

かこうへんしつそう

加工により表面に生じた内部と異なった層をいう。結晶構造の破壊、乱れ、多結晶化、非晶質化、さらに微視的にはシリコンウエハの積層欠陥発生などがあり、その部分には歪や応力が残留する。