イオンちゅうにゅうとは?

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イオンちゅうにゅう -にふ [4] 【イオン注入】 〔ion implantation〕

半導体不純物添加する方法の一。不純物イオン化してビームにし,電気的に制御しながら目的半導体注入するので,正確に添加量やその分布変えることができる。現在の半導体生産技術中核の一。





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