真空用材料
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/10/05 08:40 UTC 版)
封着加工材
真空チャンバや内部の構造などは複雑な金属の構造体であるため溶接により加工される場合が多い。金属の溶接は融接、圧接およびろう接に大別される。どの溶接方法を選択するかは用途、構造などの機能、性能や対象金属、真空中で行われるプロセスや温度などを考慮して選択する必要である。真空装置および真空部品の接合にはろう接のはんだ付けとろう付けが広く用いられている。それらのろう材としてろう付け用が銀ろう、金ろう、銅ろうなどが一般に用いられている。
金属とガラス封じ材
金属とガラスを接着して真空シールを行うためにはお互いによくなじむこと、両者の熱膨張特性が適当であることが必要である。金属の熱膨張率が大きいときにはガラスの外側から、反対の場合には内側から封着するのが普通である。銅は熱膨張係数が大きいがガラスによくなじみ、機械的クリープ特性が良好のためガラスにクラックを生じることなく封着することができる。ガラス絶縁部の加熱に対して丈夫な硬質ガラスを用いる必要がある場合、熱膨張特性が硬質ガラスに近いコバールがよく用いられる。
金属とセラミックス封じ材
金属とセラミックスの封着はセラミックスがガラスに比べて常温から高温にいたるまで強さが大きい点、また接着寸法精度の高い点を利用して用いられる。付着の方法は、セラミック表面にメタライズ処理を行った後、金属とろう付けする。現在最も安定した方法として用いられるメタライズ処理は、Mo、Mo-Mn微粉末ペーストを用いた高融点金属法とTi、Zrと共晶組成となるNi、Cuなどを用いた活性化金属法である。
参考文献
- 真空基礎講座・真空応用講座 日本真空工業会監修 非売品
- 真空用語事典 日本真空工業会 編 ISBN 978-4-7693-2156-9
関連項目
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「真空用材料」の続きの解説一覧
- 1 真空用材料とは
- 2 真空用材料の概要
- 3 封着加工材
