スピニングロータ真空計 スピニングロータ真空計の概要

スピニングロータ真空計

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2014/02/27 07:15 UTC 版)

ドイツでは真空計の中で標準圧力計として使用されており、日本でも現在具体的に検討が進められている。[1]

測定範囲は大気圧から10-2~10-5Pa程度である。

脚注


  1. ^ 真空用語事典 日本真空工業会 編 ISBN 978-4-7693-2156-9 p.39


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