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プラズマプロセス技術:ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー 単行本（ソフトカバー） – 2017/1/27

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半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について,基礎から応用まで解説する.超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜,カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など,とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に,最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっている.

【目次】
第1章 プラズマ技術の基礎
1.1 未来をつくるプラズマ
1.1.1 プラズマとは
1.1.2 各種プラズマ応用
1.2 プロセス用プラズマの基礎
1.2.1 プラズマの性質
1.2.2 プラズマの生成
1.2.3 プラズマの制御
参考文献

第2章 プラズマナノプロセスの物理的基礎
2.1 シースの物理
2.1.1 シースの形成
2.1.2 シースの理論
2.1.3 浮遊電位
2.1.4 負イオンを含むシース
2.1.5 高周波プラズマのシース
2.1.6 高周波シース通過イオンのエネルギー分布
2.2 プラズマ中の微粒子
2.2.1 微粒子の帯電
2.2.2 微粒子への作用力
2.2.3 低気圧シランガス容量結合型プラズマ中の微粒子発生・成長
2.2.4 種々の材料ガスプラズマ中の微粒子発生・成長
2.2.5 微粒子のプラズマパラメータ,放電電圧・電流への影響
参考文献

第3章 プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
3.1 プラズマ固体表面反応の基礎
3.1.1 各種薄膜堆積法
3.1.2 プラズマCVDの基礎
3.1.3 ラジカルの生成と輸送
3.2 最表面薄膜成長
3.2.1 下地との相互作用:吸着・マイグレーション
3.2.2 隣どうしの相互作用:クロスリンク
3.2.3 表面反応性と段差被覆
参考文献

第4章 ナノエッチング技術
4.1 ドライエッチングとは
4.2 ドライエッチングの基礎
4.2.1 エッチング特性
4.2.2 プラズマエッチング技術の要素
4.2.3 ドライエッチングにおけるプラズマの役割
4.2.4 ドライエッチングにおける表面反応過程
4.3 ドライエッチングによる微細加工
4.3.1 基板表面に入射する反応粒子
4.3.2 微細パターン内の粒子輸送
4.3.3 微細パターン内の表面反応過程
4.3.4 エッチングの微視的均一性
4.3.5 微細加工形状進展
4.3.6 表面ラフネス
4.4 プラズマダメージ
4.4.1 物理的ダメージ(PPD)
4.4.2 電気的ダメージ(PCD)
4.4.3 光照射ダメージ(PRD)
4.5 先端ナノ加工
4.5.1 ナノ加工の動向
4.5.2 Siエッチング
4.5.3 SiO2,Si3N4エッチング
4.5.4 高誘電率材料,メタル材料のエッチング
参考文献

第5章 ナノ材料の基板成長と構造制御
5.1 配向カーボンナノチューブ
5.1.1 初期成長過程
5.1.2 配向成長機構
5.1.3 構造制御成長
5.1.4 原子・分子内包による構造制御
5.1.5 気液界面プラズマによる構造制御
5.1.6 応用例
5.2 ナノ材料のプラズマ成長・合成
5.2.1 グラフェン
5.2.2 内包フラーレン
5.2.3 ナノダイヤモンド
5.2.4 ZnOナノワイヤー
参考文献

第6章 ナノ粒子の気相合成
6.1 ナノカーボン
6.1.1 作製技術
6.1.2 ナノ粒子の構造
6.2 Siナノ粒子
6.2.1 ナノ粒子の気相合成:サイズと構造の制御
6.2.2 ナノ粒子の凝集制御
6.2.3 ナノ粒子の輸送制御
6.2.4 ナノ粒子の太陽電池への応用
6.3 ナノ結晶
6.3.1 Siナノ結晶
6.3.2 ナノダイヤモンド
6.3.3 化合物ナノ結晶
参考文献

第7章 計測技術とプロセス解析
7.1 気相計測
7.1.1 探針法
7.1.2 レーザー吸収分光法
7.1.3 レーザー誘起蛍光法
7.2 表面計測
7.2.1 プラズマ技術に適した表面計測法
7.2.2 物質の光学応答:誘電関数
7.2.3 反射と透過
7.2.4 偏光解析
7.2.5 フーリエ変換と波長分散
7.2.6 FT-IR(一般的FT-IR 法,偏光変調赤外反射分光法)
7.2.7 実時間その場観察の実際
7.2.8 非線形分光
7.3 微粒子計測
7.3.1 レーザー光散乱法
7.3.2 静電プローブ法
7.3.3 自己バイアス電圧測定

参考文献
索引
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  1. 本の長さ
    273ページ
  2. 言語
    日本語
  3. 出版社
    森北出版
  4. 発売日
    2017/1/27
  5. 寸法
    15.2 x 1.6 x 22 cm
  6. ISBN-10
    462777561X
  7. ISBN-13
    978-4627775619
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登録情報

  • 出版社 ‏ : ‎ 森北出版 (2017/1/27)
  • 発売日 ‏ : ‎ 2017/1/27
  • 言語 ‏ : ‎ 日本語
  • 単行本（ソフトカバー） ‏ : ‎ 273ページ
  • ISBN-10 ‏ : ‎ 462777561X
  • ISBN-13 ‏ : ‎ 978-4627775619
  • 寸法 ‏ : ‎ 15.2 x 1.6 x 22 cm
  • カスタマーレビュー:
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渡邊伸一
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2021年11月1日に日本でレビュー済み
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