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ホトリソグラフイにおける実測溶解速度を用いたデフオーカスシミュレーションの検討

南洋一， 関口淳 - 電子情報通信学会論文誌 C, 1993 - search.ieice.org

本論文では,ホトレジストの溶解速度の実測値を用いたデフォーカス状態のホトレジストの形状
シミュレーションについて報告する.我々は,デフォーカス時のホトレジスト中の光強度分布のモデルとして,…

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厚膜レジストの高解像化に関する検討

扇子義久，三宅康宏， 関口淳 - 電子情報通信学会論文誌 C, 2002 - search.ieice.org

厚膜レジストプロセスにおいて高解像化や高アスペクト化を実現するためのメカニズムの解析は,ほとんど
なされていなかった.そこで今回,我々は,厚膜レジストパターン形成において,厚膜レジスト中の…

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厚膜レジストにおけるプリベーク条件が解像性に与える影響

扇子義久， 関口淳 - 電子情報通信学会論文誌 C, 2003 - search.ieice.org

厚膜レジストプロセスにおいて高解像性を実現するための有効なプリベーク条件とプリベークの
メカニズムを検討した.本検討には,プリベークの温度と時間を変化させたサンプルを用いた.得られた…

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[PDF] jst.go.jp

厚膜レジストにおける実測溶解速度を用いたプロキシミティ· リソグラフィ· シミュレーションの検討

扇子義久，磯野麻里子， 関口淳，門井幹夫… - 電気学会論文誌 A …, 2004 - jstage.jst.go.jp

In the present paper, simulations of photoresist pattern during proximity exposure, using
measured values for the dissolution rate in the photoresist, are reported. We adopted the van …

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[PDF] jst.go.jp

陸稲におけるセジロウンカの異常発生について

…，秋山実，千葉恒夫，中島久仁夫， 関口淳 - 関東東山病害虫研究会 …, 1988 - jstage.jst.go.jp

昭和 62 年 8 月に茨城県の海岸地帯の陸稲にセジロウンカが多発生し, 枯死株を生じる被害が
発生した. 本県では過去にウンカ類の加害により水稲で被害が発生した例は何度かあるが, いずれも…

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[引用][C] レジスト特性の実測技術を活用した超 LSI 用リソグラフィー・シミュレーションに関する研究

関口淳 - 2001 - ci.nii.ac.jp

18. 4.3 化学増幅型レジストのシミュレーション用レジストパラメータ算出方法の検討とその評価 (1)―現像
パラメータ, 酸の拡散長, 表面難溶化パラメータ―/p113 (0064. jp2) 19. 4.4 化学増幅型…

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[引用][C] 廃棄ペットボトル (D-PET)/シンジオタックチックポリスチレン (SPS) ポリマーアロイの機械的特性

関口淳，高橋睦，佐藤貞雄 - 工学院大学研究報告= Research reports of …, 2000 - cir.nii.ac.jp

廃棄ペットボトル(D-PET)/シンジオタックチックポリスチレン(SPS)ポリマーアロイの機械的特性 | CiNii
Research CiNii 国立情報学研究所学術情報ナビゲータ[サイニィ] 詳細へ移動検索フォームへ移動 …

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[PDF] jst.go.jp

EUV レジストの高感度化の検討

関口淳 - 電気学会論文誌 A (基礎・材料・共通部門誌), 2017 - jstage.jst.go.jp

Studies have been carried out on developing a method for improving EUV resist sensitivity
by enhancing EUV light absorption through the addition of metals having high EUV light …

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[PDF] affrc.go.jp