ラッピングシートとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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ラッピングシート　lapping sheet

ポリエステルフィルム上に、研磨砥粒を接着剤に混ぜて塗り、硬化させたもの。砥粒としてはアルミナ、ダイヤモンドなどが用いられており、粒度は0.3µm〜数十µmである。エメリー紙に比べて高価であるが、フィルムが硬いため、硬い部分と柔らかい部分が混在した試料の研磨には有効である。

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