反射電子放出率とは? わかりやすく解説

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反射電子放出率 backscattered-electron yield,backscattered-electron coefficient,backscatter yield,backscatter coefficient

入射電子個数対す反射電子個数の比。入射電子電流をI0反射電子電流をIbとすると、反射電子放出率ηはη=Ib/I0与えられる原子番号大きくなる反射電子放出率大きくなるので、これを画像にすることで組成差をコントラストとしたSEM像を得ることができる。
反射電子放出率

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