ULPAフィルタ

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ULPA

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/12/10 05:27 UTC 版)

ULPAフィルタ (ウルパフィルタ、英: Ultra Low Penetration Air Filter) とは、空気中からゴミ、塵・埃などを取り除き、清浄空気にする目的で使用するエアフィルタの一種である。空気清浄機やクリーンルームのメインフィルタとして用いられる。

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ULPAフィルタ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/05/22 11:29 UTC 版)

「エアフィルタ」の記事における「ULPAフィルタ」の解説

詳細は「ULPA」を参照 主にインダストリークリーンルームへ供給されるファイナルフィルタとして用いられる。現在はSMIF方式のクリーンルームが一般的である為、半導体の生産装置に附属されるケースが多く見受けられる。効率表示は凡そ計数法(JIS参照)で表現される。