SE・Mとは? わかりやすく解説

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SEM


走査電子顕微鏡(セム)

略語:SEM
【英】:scanning electron microscope

バルク試料表面微小電子プローブ走査し表面から放出される二次電子反射電子検出器で受け、その強度プローブ走査同期させて、コンピュータモニタ上に輝点列の像として表示する電子顕微鏡二次電子からバルク試料表面微細な構造形態が、反射電子から組成違い観察できるEDSWDSはじめとする様々な分析機能付加して使われている。SEMの分解能決め重要な要素入射ビーム試料上でのプローブサイズである。プローブサイズを小さくするには第一に電子源大きさ小さくすることである。搭載されている電子銃冷陰極電解放出電子銃ショットキー型電子銃,LaB6電子銃タングステン電子銃の順でプローブサイズは大きくなる第二対物レンズタイプによって絞れビームサイズが決まる。対物レンズには1)アウトレンズ、2)シュノーケルレンズ、3)インレンズがある。アウトレンズ型では大きな試料傾斜しても像が得られるように、試料対物レンズ下方に置く。試料対す制限がゆるい代わりにレンズ焦点距離長くなり小さビーム得られにくい。インレンズ型ではTEMのように対物レンズ中に試料挿入する焦点距離短くでき小さなプローブ得られる。ただし、試料の大きさは数mm制限されるシュノーケル型(潜水用具に形が似ていることによる命名)は前二者中間的存在で、試料レンズの下に置かれ比較小さプローブ比較大き試料扱えるように設計されている。低い加速電圧では色収差効果により分解能は下がる。分解能加速電圧20〜30kVで定義されている。分解能具体数値は,超高分解能型で約1nm汎用型で10nm程度CsコレクタCcコレクタ使用する入射ビーム微小化が可能であるが、取り込み角大きくなるために焦点深度浅くなりすぎる欠点がある。入射電子加速電圧下げると電子進入深さ減り反射電子によって生成される二次電子空間的な広がりが減るために像のコントラスト向上する。低加速利点バックグラウンド減少のほかに帯電減少試料損傷減少がある。SEMでは帯電が像の質を落とす。入射電子量が流出電子量を上回る帯電起き、像が乱れ異常なコントラスト形成される。非伝導性試料場合には,帯電防止のために貴金属Al,Cのコ−ティングが行われる。低真空SEMではコーティングなしに非伝導性試料観察できる場合もある。

関連する用語


走査電子顕微鏡(セム)

略語:SEM
【英】:scanning electron microscope

バルク試料表面微小電子プローブ走査し表面から放出される二次電子反射電子検出器で受け、その強度プローブ走査同期させて、コンピュータモニタ上に輝点列の像として表示する電子顕微鏡二次電子からバルク試料表面微細な構造形態が、反射電子から組成違い観察できるEDSWDSはじめとする様々な分析機能付加して使われている。SEMの分解能決め重要な要素入射ビーム試料上でのプローブサイズである。プローブサイズを小さくするには第一に電子源大きさ小さくすることである。搭載されている電子銃冷陰極電解放出電子銃ショットキー型電子銃,LaB6電子銃タングステン電子銃の順でプローブサイズは大きくなる第二対物レンズタイプによって絞れビームサイズが決まる。対物レンズには1)アウトレンズ、2)シュノーケルレンズ、3)インレンズがある。アウトレンズ型では大きな試料傾斜しても像が得られるように、試料対物レンズ下方に置く。試料対す制限がゆるい代わりにレンズ焦点距離長くなり小さビーム得られにくい。インレンズ型ではTEMのように対物レンズ中に試料挿入する焦点距離短くでき小さなプローブ得られる。ただし、試料の大きさは数mm制限されるシュノーケル型(潜水用具に形が似ていることによる命名)は前二者中間的存在で、試料レンズの下に置かれ比較小さプローブ比較大き試料扱えるように設計されている。低い加速電圧では色収差効果により分解能は下がる。分解能加速電圧20〜30kVで定義されている。分解能具体数値は,超高分解能型で約1nm汎用型で10nm程度CsコレクタCcコレクタ使用する入射ビーム微小化が可能であるが、取り込み角大きくなるために焦点深度浅くなりすぎる欠点がある。入射電子加速電圧下げると電子進入深さ減り反射電子によって生成される二次電子空間的な広がりが減るために像のコントラスト向上する。低加速利点バックグラウンド減少のほかに帯電減少試料損傷減少がある。SEMでは帯電が像の質を落とす。入射電子量が流出電子量を上回る帯電起き、像が乱れ異常なコントラスト形成される。非伝導性試料場合には,帯電防止のために貴金属Al,Cのコ−ティングが行われる。低真空SEMではコーティングなしに非伝導性試料観察できる場合もある。

関連する用語

説明に「走査電子顕微鏡」が含まれている用語


SEM

別名:えすいーえむ

電子波波長の短いことを利用した電子線電子光学的結像によって、光学顕微鏡では不可能な試料高倍率、高分解能の像をうる電子顕微鏡一種である。試料上を電子線探針走査し試料からの透過あるいは反射電子強弱探針同期し走査している観察ブラウン管の像面上で見る。分解能探針大きさ決まり、10nm程度までできる。

走査型電子顕微鏡


Sem

名前 セムゼム

SEM

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/09/17 13:43 UTC 版)

SEM



S.E.M

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/04 08:48 UTC 版)

アイドルマスター SideM」の記事における「S.E.M」の解説

読みは「セム」。元教師構成されユニットリーダーは硲道夫メンバーは同じ学校の教師チームカラーピンク。 硲 道夫(はざま みちお) 声 - 伊東健人 誕生日 - 1月13日 / 年齢 - 32歳 / 星座 - 山羊座 / 血液型 - AB型 / 利き手 - 左 / 出身地 - 淡路島 / 身長 - 178cm / 体重 - 65kg / 靴のサイズ - 26.5cm / 属性 - インテリ数学教師趣味掃除パズル特技円周率暗唱生徒達に夢を与え勉強への意欲芽生えさせるためにアイドル目指した。高校生の妹がいる。本作アイドルの中では最年長教師時代舞田曰く教え方が早くて上手い」ことで評判だった。だが、生徒には授業が退屈と思われることもあり、それに対して自分なりに授業楽しませよう工夫をしていたが空回りしていた。そんな中高校文化祭招待されJupiter熱狂する生徒たちの姿を目の当たりにしたことで、生徒を導くのは教師ではなく生徒たち熱中する存在であるアイドルだと考えアイドル転向した舞田 類(まいた るい) 声 - 榎木淳弥 誕生日 - 8月8日 / 年齢 - 23歳 / 星座 - 獅子座 / 血液型 - B型 / 利き手 - 両 / 出身地 - 横須賀 / 身長 - 170cm / 体重 - 58kg / 靴のサイズ - 25.5cm / 属性 - メンタル 元英教師趣味スキースノボサーフィン特技けん玉。硲に誘われ教師よりもエキサイティングな人生送れるかもしれない考えてアイドルとなった。 英語交じり口調特徴山下とは家が隣同士で、夕食食べに家に行くこともあるという。北斗とは同じ大学のテニスサークルに所属していた。 山下 次郎やました じろう) 声 - 中島ヨシキ 誕生日 - 9月1日 / 年齢 - 30歳 / 星座 - 乙女座 / 血液型 - O型 / 利き手 - 右 / 出身地 - 石川| / 身長 - 185cm / 体重 - 70kg / 靴のサイズ - 27cm / 属性 - インテリ 元化教師趣味猫カフェめぐりと競馬特技ラジオ体操。硲に誘われ大金稼げるかと考えてアイドルになった

※この「S.E.M」の解説は、「アイドルマスター SideM」の解説の一部です。
「S.E.M」を含む「アイドルマスター SideM」の記事については、「アイドルマスター SideM」の概要を参照ください。

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