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走査電子顕微鏡基本用語集
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自動非点補正（オートスティグマ）　automatic astigmatism correction

非点補正を自動的に行う機能。実際には、直交する2方向に電子プローブを走査したときの画像信号の鮮鋭度を検出し、コントラストが最大になるように非点補正装置を動作させる。

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