膜厚計

デジタル大辞泉

まくあつ‐けい【膜厚計】

読み方：まくあつけい

物体表面の膜の厚さを測定する装置。金属表面の塗装は磁力や渦電流の大きさを利用し、木材・コンクリートの場合は超音波の反射時間から膜厚を測定する。蒸着のコーティングの厚さは光の干渉から求めるほか、水晶の固有振動数の変化を測定する水晶膜厚計を用いる。

走査電子顕微鏡基本用語集

膜厚計　thickness monitor

真空蒸着やイオンスパッタで試料表面にコーティングをするときに、コーティング膜厚を測定する装置。コーティング装置内に置いた水晶振動子上にコーティング物質が堆積すると、質量が変化するため、水晶振動子の共振周波数がわずかに変化する。この周波数の変化を検出して、膜厚を測定するものである。あくまで質量を測定する装置なので、コーティング膜の密度が変わると膜厚は違ってしまうので注意が必要である。

関連する用語

• 真空蒸着
• コーティング

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膜厚計

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/01/11 13:19 UTC 版)

膜厚計（まくあつけい、英語: coating thickness gauge）は、塗装やめっきなどの皮膜の厚みを測定する計測器である。