脱出深さ

走査電子顕微鏡基本用語集

脱出深さ　escape depth

入射電子によって試料内部で励起された、二次電子、オージェ電子などが吸収されることなく試料表面に到達し、真空中に放出される深さ。電子の運動エネルギーに依存し、70eV程度のエネルギーのものが最も吸収されやすい。

関連する用語

• 二次電子
• オージェ電子

透過電子顕微鏡基本用語集

脱出深さ（電子などの）

【英】：escape depth

二次電子、特性X線、オージェ電子などが試料内部から脱出できる深さ。