真空装置・真空機器製造業
分類 | 日本標準産業分類(平成19年[2007年]11月改定) > 製造業 > 生産用機械器具製造業 > その他の生産用機械・同部分品製造業 > 真空装置・真空機器製造業 |
説明 | 主として真空装置,真空ポンプ,真空装置用部品,真空装置附属装置等を製造する事業所をいう。 主として半導体製造装置を製造する事業所は小分類267[2671]に,フラットパネルディスプレイ製造装置を製造する事業所は小分類267[2672]に分類される。 |
事例 | 真空や金装置,真空化学装置,真空蒸着装置,スパッタリング装置,ドライエッチング装置,CVD装置,イオン注入装置等真空装置製造業,真空ポンプ製造業;真空装置用部品製造業;真空装置用附属機器製造業 |
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