入射電圧とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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入射電圧（入射エネルギー,照射電圧）　landing voltage,landing energy,incident energy

試料に入射する電子の電圧すなわちエネルギー。通常の SEMでは加速電圧と同じであるが、減速法の場合、加速電圧と試料ステージに印加された電圧の差、あるいは加速電圧と対物レンズ下方にある減速電極に印加された電圧の差が入射電圧となる。

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