照射損傷

デジタル大辞泉

しょうしゃ‐そんしょう〔セウシヤソンシヤウ〕【照射損傷】

読み方：しょうしゃそんしょう

⇒放射線損傷

透過電子顕微鏡基本用語集

照射損傷

【英】：radiation damage

電子線の照射による試料の構造劣化。一次的な損傷にはノックオン（knock-on)とイオン化(ionization)がある。ノックオンは、入射電子に衝突された原子がその格子点からはじき出されて格子間原子となり、元の格子点が原子空孔となる過程をいう。イオン化は、原子の外殻電子がはじき出されて原子がイオン化される過程。一次的な損傷の結果に引き続いて起こる緩和過程で特定の格子欠陥が生成されたり、非晶質化が起こる。この過程を二次過程という。

説明に「照射損傷」が含まれている用語

• トモグラフィー
• 電子線照射損傷低減システム