加工変質層とは?

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加工変質層

かこうへんしつそう

加工により表面に生じた内部異なった層をいう。結晶構造破壊乱れ多結晶化、非晶質化、さらに微視的にはシリコンウエハ積層欠陥発生などがあり、その部分には歪や応力残留する。





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