研磨用語集

フロートポリシング

ふろーとぽりしんぐ

螺旋溝をもつ錫定盤の表面をダイヤモンド工具により超精密鏡面切削し、平面工作物がこの定盤の回転に伴い研磨剤で動圧浮上した状態で研磨を行う。その場合、研磨剤層でキャビテーションが発生して研磨剤中の砥粒が工作物をアタックし、加工変質層のない超平滑鏡面を仕上げる非接触研磨法。