ピエゾセンサー
圧電センサーとも呼ぶ。圧力で帯電する圧電物質(水品など)と、電気量を電圧に変換するチャージアンプを併用し、エンジン指圧計などの高速変動する圧力測定や超音波センサーなどに使用する。また、圧電型加速度ピックアップは、特定の質量Mに接して取り付けた圧電素子で、Mの慣性力を検出する。圧電ジャイロセンサーは、音差振動子のX軸方向に励振用圧電セラミックスを構成し、1次固有振動数の正弦波電圧を印加して振動子をX軸方向に振動させる。この状態で振動子の中心軸(X軸)まわりに角速度が加わると、振動子はY軸方向に回転角速度に比例したコリオリ力を受け調和振動する。その振幅をY軸方向検出用圧電セラミックスの出力電圧として測定し、振動子に加わる回転角速度を検出するものである。
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