出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/09/11 17:38 UTC 版)
バルクマイクロマシニングとは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 基板もしくは厚膜(数十μm以上)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。(参考:サーフェイスマイクロマシニング)
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