研磨用語集

トワイマン効果

とわいまんこうか

基板状の工作物の両面にある残留応力に差が生じるとその差を補うように工作物が反り返る。一般に、基板状工作物はそれまでの加工による残留応力のバランスがとれた状態にあるが、この片面を研磨して多少でもその部分の残留応力が除かれると、再びバランスがとれるように反り返る。このような現象を避けるために終始両面の残留応力のバランスを保ったままの加工の両面ラッピング、両面ポリシングが用いられる。