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透過電子顕微鏡基本用語集 |
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カロリメータ
【英】：calorimeter
中性粒子、荷電粒子、電磁波の総エネルギーを吸収によって測定して、入射線のエネルギーを測定する装置。を備えたXES装置は、高いエネルギー分解能(〜10eV（最近のチャンピオンデータは4.5eV）)が得られる。難点は液体Heが必要で装置が大きくなること、信号取得の立体角がEDSより1桁以上小さいことである。現在はSEMに使われておりTEMには使用されていない。
中性粒子、荷電粒子、電磁波の総エネルギーを吸収によって測定して、入射線のエネルギーを測定する装置。を備えたXES装置は、高いエネルギー分解能(〜10eV（最近のチャンピオンデータは4.5eV）)が得られる。難点は液体Heが必要で装置が大きくなること、信号取得の立体角がEDSより1桁以上小さいことである。現在はSEMに使われておりTEMには使用されていない。
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