研磨用語集

オプチカルフラット

おぷちかるふらっと

平面ゲージである。ひずみや気泡のないガラス製で、厚さと直径比が1/6以上が決められている。被測定面をこのゲージ面と接触あるいは非接触の状態でセットし、両面からの反射光の間で生じる干渉縞の本数や曲がりをもとに、被測定面の形状精度を読み取る。