透過電子顕微鏡基本用語集 |
 
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エネルギー分光器
【英】：energy analyzer
WDS分析やEELS分析の際、前者では特性X線や軟X線の、後者では非弾性散乱電子のエネルギーを分散させる分光器のこと。WDSの場合、特性X線を分光して元素分析を行う場合は分光結晶を、軟X線を分光して価電子帯の状態密度を測定する場合は回折格子を用いる。EELSの場合、インコラムタイプでは分光器としてオメガフィルタなどが用いられ、ポストコラムタイプではセクター型の分光器が用いられる。
WDS分析やEELS分析の際、前者では特性X線や軟X線の、後者では非弾性散乱電子のエネルギーを分散させる分光器のこと。WDSの場合、特性X線を分光して元素分析を行う場合は分光結晶を、軟X線を分光して価電子帯の状態密度を測定する場合は回折格子を用いる。EELSの場合、インコラムタイプでは分光器としてオメガフィルタなどが用いられ、ポストコラムタイプではセクター型の分光器が用いられる。
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