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超電導用語解説集
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エッチング加工

　Arなどのイオン照射により薄膜表面の原子をはじき出すことにより、薄膜を削り取っていく加工工程で、ランプエッジ接合の傾斜部の形成や、界面改質バリア形成のための下部超電導薄膜のイオン照射などの工程もこの加工の一種である

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