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ウェハー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2011/08/24 08:23 UTC 版)
(ウエーハ から転送)
ウェハー (wafer ウェイファ)は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。呼称は洋菓子のウェハースに由来する(英語表記ではいずれもwafer)。
ウェハー[1]のほか、ウェーハ[2]、ウエーハ[3]、ウエハー[4]、ウェハ[5]、ウエハ[6][7]などさまざまに呼ばれる。
- 1 ウェハーとは
- 2 ウェハーの概要
ウエーハに関連した本
- 最新シリコンデバイスと結晶技術 -先端LSIが要求するウエーハ技術の現状- 柿本 浩一 リアライズ理工センター
- シリコン―結晶成長とウェーハ加工 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ) 阿部 孝夫 培風館
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