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ウェットエッチング
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2011/12/19 10:28 UTC 版)
ウエットエッチングとは、目的とする金属等を腐食溶解する性質を持つ液体の薬品を使ったエッチングである。
- ^ 辻埜和也、松村道雄「ウェットエッチングによる太陽電池用シリコンウェーハへの低反射表面凹凸構造の形成技術 (PDF)」 、『表面技術』第56巻第56号、一般社団法人 表面技術協会、2005年、843頁、ISSN 0915-1869、doi:10.4139/sfj.56.843、NAID 130000149185、JOI:JST.JSTAGE/sfj/56.843。
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- 1 ウェットエッチングとは
- 2 ウェットエッチングの概要
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