三省堂 大辞林

イオン-ほうしゃけんびきょう ―はうしやけんびきやう 0 【―放射顕微鏡】

試料表面の原子配置を観察する装置。調べようとする物質を針状にして陽極とし、蛍光膜をつけた陰極との間に高電圧をかけ、管内に少量のヘリウムを入れる。陽極に衝突して生じたヘリウム-イオンが蛍光膜に直進して表面の拡大像をつくる。倍率約一〇〇万倍。電界イオン顕微鏡。