イオンゲージ

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電離真空計

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/06/23 02:59 UTC 版)

電離真空計（でんりしんくうけい）は、気体をイオン化させ、流れる電流を測定することによって圧力を求める真空計の一種である。三極真空管にきわめて似た構造をもつが、動作原理はまったく違うものである。