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透過電子顕微鏡基本用語集 |
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アルケミ
略語：ALCHEMI
【英】：atom-location by channeling-enhanced microanalysis
入射電子が特定の原子位置を通過する現象（電子チャンネリング）を利用し、結晶中の不純物原子の位置を決定する手法。透過電子顕微鏡で電子回折パターンを見ながら電子ビームをブラッグ条件のプラス側およびマイナス側に順次傾斜してEDS装置で得た特性X線強度の違いを観察することから、不純物原子の占有位置（サイト）が区別できる。この方法では二つの結晶方位でX線強度が測られるが、電子ビームを二次元的にロッキングして連続的な広い角度にわたる特性X線強度のパターンを観察する、より信頼性の高い方法が普及し始めている。
【英】：atom-location by channeling-enhanced microanalysis
入射電子が特定の原子位置を通過する現象（電子チャンネリング）を利用し、結晶中の不純物原子の位置を決定する手法。透過電子顕微鏡で電子回折パターンを見ながら電子ビームをブラッグ条件のプラス側およびマイナス側に順次傾斜してEDS装置で得た特性X線強度の違いを観察することから、不純物原子の占有位置（サイト）が区別できる。この方法では二つの結晶方位でX線強度が測られるが、電子ビームを二次元的にロッキングして連続的な広い角度にわたる特性X線強度のパターンを観察する、より信頼性の高い方法が普及し始めている。
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