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アッシャー

読み方:アッシャー
【英】:Asher

アッシャーとは、エッチングの後、不要となったレジストプラズマ等を照射して反応させて気相中で分解除去するレジスト剥離(アッシング)装置のこと。オゾンガス等のガス導入したアッシング室内で、紫外線等の光を照射してガスレジスト化学反応を使ってレジスト剥離をする光励起アッシング装置と、ガス高周波等でプラズマ化し、そのプラズマ利用してレジスト剥離するプラズマアッシング装置の2つに大別される。
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アッシャー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2011/10/11 03:04 UTC 版)

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