微細加工技術（びさいかこうぎじゅつ）（submicron technology）
半導体チップの小型化とともに単位体積あたりの集積度を向上させるために微細加工技術が応用されている。いかに小さな半導体回路を実現できるかで、製品の性能が左右される。
現在、パソコンの心臓部にあたる中央演算処理装置（ＣＰＵ）は、わずか130ナノメートルほどの加工技術で製造されている。１ナノメートルとは、１ミリメートルの100万分の１の大きさで、原子や分子に迫るスケールだ。ＣＰＵ内部のトランジスタ配線は、この程度の間隔で加工されている。
半導体チップ内部のトランジスタの間隔を小さく加工できれば、複雑な電子回路を１か所にたくさん埋め込むことができる。半導体製品の性能アップのためには、このような微細加工技術が欠かせないため、メーカー各社はしのぎを削っている。
（2002.08.20更新）
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