研磨用語集

二次粒子

にじりゅうし

0.001μmといった微細な一次粒子が凝集して0.5～数μmの大きさになったもの。ポリシング用に入手した粉末砥粒の多くはこの二次粒子状態にあり、研磨面の品質は二次粒子の大きさに支配されることが多い。そこで慣らし運転で微細化を進めた砥粒や、またコロイド状の砥粒を用いて高品質研磨を可能にしている。