三省堂 大辞林

でんし-せんかいせつ ―くわいせつ 6 【電子線回折】

電子線が波動性をもち、光のように回折すること。薄膜・表面層・微結晶・気体分子の構造を調べるのに利用。電子回折。

研磨用語集

電子線回折

でんしせんかいせつ

電子線を照射して得られるBraggの条件を満たす回折像をもとに、表面層や薄膜の構成物質を同定したり、結晶構造を解析する方法。