研磨用語集

ディンプル

でぃんぷる

様々な加工欠陥の中で比較的なだらかな凹みの欠陥を指す。ひとつには、ポリシングにおけるパッドの硬度むらや工作物の自転むらなどに起因して発生すると考えられている。この他、透過型電子顕微鏡用の試料作製で、試料の一部を薄片化する加工法を指す場合もある。そこでは、微細砥粒を懸濁した研磨液中で樹脂系の球形工具を高速回転させてディンプルを形成し、その中心部に穴があくまで加工する。