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低温ポリシリコン

読み方:ていおんポリシリコン
【英】Low-temperature Poly Silicon, LTPS

低温ポリシリコンとは、液晶ディスプレイなどの電極である薄膜トランジスタTFT)に使われる材料のうち、およそ摂氏600度以下の低温環境下で形成するポリシリコンのことである。

低温ポリシリコンは基板材料としてガラスが用いられている。低温ポリシリコンは高温ポリシリコンに対して安価製造できるという利点がある。低温ポリシリコンに対して、およそ1000度以上の高温形成されるポリシリコンは「高温ポリシリコン」と呼ばれる

低温ポリシリコンはTFT液晶素材などとして使用されており、低温ポリシリコン液晶などと呼ばれている。







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