研磨用語集

超微粒子

ちょうびりゅうし

一次粒子が1μm以下で高度に分散した粒子のこと。1μm以下になった粒子は高い表面エネルギーのため凝集傾向を持つが、気相法や熱分解法で製造された特殊な微粒子は、高い分散性を維持し、ポリシ剤に使用される。