三省堂 大辞林

そうさ-がたトンネルけんびきょう ―けんびきやう 0-0 【走査型―顕微鏡】

物体表面を原子スケールで調べる装置。極細な金属探針の先端を表面から1ナノメートル以下に置き、1ボルト程度の電圧をかけて表面に沿って移動させると、表面からの距離に応じてトンネル効果で電子が針に流れこみ、表面の凹凸を原子の大きさまで調べることができる。試料中の元素分析などにも用いられる。