研磨用語集

SIMS

しむす

二次イオン質量分析法　secondary-ion mass spectrometry　の略語。イオン照射により試料表面から発生する二次イオンを質量分析装置で分析して構成元素を求める方法。数原子層程度の深さまでの極表面に限った分析、走査エッチングによる三次元的な分析、同位体の分析などを特徴とする。