研磨用語集

酸化ジルコニウム

ZrO2
さんかじるこにうむ

製造時の温度により結晶構造が非晶質、準安定正方晶系、単斜晶系、正方晶系、立法晶系と変化するが、この中で比較的軟質な準安定正方晶系や単斜晶系のものがガラスや半導体のポリシングに用いられる。