研磨用語集

コロイダルシリカ

ころいだるしりか

SiO2またはその水和物のコロイドで、通常、粒子径が10～300nmで一定の構造を持たないもの。ケイ酸塩に希塩酸を作用させてから透析して得られ、常温ではなかなか沈殿しないゾル状である。Siウエハなどの仕上げポリシング用研磨剤として多用されている。