研磨用語集

ＳＴＭ

えす・てぃー・えむ

走査型トンネル顕微鏡　scanning tunneling microscope　の略語。真空中で探針を1nm程度まで接近させて電圧を印加した際に流れるトンネル電流を一定に維持して探針を走査させ、その制御信号に基づいて試料表面の凹凸を測定する装置。