研磨用語集

EPMA

いー・ぴー・えむ・えー

Electron probe microanalysis　の略語。電子ビーム照射に伴って放出される特性X線の波長と強度を計測して，試料表層中の元素組成を分析する方法である。走査を行うことにより、全元素の二次元的な分布を求めることが可能である。SEMの能力も兼ね備えている。